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电子半导体的废气应该怎么处理呢,半导体废气处理方法
如今,在以半导体技术为核心的信息时代,半导体生产过程中会产生大量有毒有害气体、有机物和无机物。电子半导体的废气应该怎么处理?溶剂,如显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻溶液等。用于半导体工业的生产,这些溶剂含有大量的有机成分。常用的工业有机废气处理工艺包括:活性炭吸附、酸碱中和、等离子体、直接燃烧、催化燃烧、吸收、冷凝等。目前,电子半导体行业的废气处理方法有吸附法和焚烧法。活性炭吸附:其原理是利用多孔固体吸附剂处理混合气体,使废气中的气体成分吸附在固体表面,达到分离的目的。该废气处理设备能有效去除低浓度的有害物质,净化效率高,操作方便。焚烧:焚烧的原理是在热氧化中,有机废气流被加热,气相中的有机物被氧化,有机物CO2和H2O通常用于流量稳定、浓度较低的气体。电子半导体的接触氧化在市场上很少使用,因为在电子半导体的焚烧过程中会产生二氧化硅,这会使催化剂钝化。了解更多电子半导体有机废气处理,欢迎来深洪森环保在线咨询。
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