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低温等离子废气处理设备等离子体去除恶臭是通过两个途径实现的，一个是在高能电子的瞬间是高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；另一个是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。主要有下面几个过程：

1、废气处理设备在高能电子作用下，强氧化性自由基O、OH、OH2的产生；

2、有机物分子受到高能电子碰撞被激发，及原子键断裂形成小碎片基团和原子；

3、O、OH、HO2与激发原子、有机物分子、废气处理公司破碎的基团、其他自由基等发生一系列反应，有机物分子被氧化降解为CO、CO2、H2O，废气处理设备的去除率的高低与电子能量和有机物分子结合键能的大小有关。

从除臭机理上分析，主要发生以下反应：

H2O+O2、O2-、O2+——SO3+H2O，NH3+O2、O2-、O2+——NOx+H2O，废气处理设备H2S去除率可达百分之91.9，NH3去除率可达百分之93.4，臭气浓度去除率可达百分之93.6。

从上述反应来看，废气处理设备将恶臭组分经过处理后，转变为NOx、SO2、CO2、H2O等小分子，在一定的浓度下，各种反应的转化率均在百分之95以上，而且恶臭浓度较低，因此产物的浓度很低，均能被周边的大气所接受。

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